开展VDA6.3的过程审核可以按照以下步骤进行：

1. 审核准备

组建审核团队：选择具备相关专业知识的人员组成审核团队，并进行VDA6.3标准的培训。

确定审核范围和目标：明确审核的范围，涵盖产品实现的全过程，并设定具体的审核目标。

收集相关文件和信息：收集工艺流程图、控制计划、作业指导书、质量记录等文件，并了解过程的历史数据。

2. 审核实施

首次会议：召开首次会议，让审核团队成员和受审核部门代表参与。

划分过程步骤：根据生产过程的工序划分过程步骤。

制定审核计划：根据审核频次和过程步骤，制定详细的审核计划。

3. 审核执行

现场模拟审核：通过模拟审核的方式，让审核员熟悉审核流程和技巧。

工具应用：使用VDA6.3工具对生产过程进行全方位评估。

4. 审核后续

问题交流：对审核中发现的问题进行交流探讨，促进学习效果的提升。

改进措施：根据审核结果，制定并实施改进措施，以提升过程的有效性和效率。

5. 持续改进

定期审核：结合日常检查和动态评价，持续进行过程审核，确保质量管理体系的有效运行。

知识应用：将培训中学到的知识与实际操作相结合，解决实际问题。

请根据具体情况调整上述步骤，并确保遵循VDA6.3的最新要求和最佳实践。