专业监理工程师在审核进度款时，通常会遵循以下步骤和要点：

检查工程进度

确认工程完成情况、质量验收情况和安全生产情况是否符合合同要求。

审核材料、设备、劳务进场情况

核查材料和设备是否按照合同要求进场，以及是否符合规定。

确认劳务人员是否按时进场，并符合相关要求。

核对工程款项

检查工程款项的支付情况，包括数额、支付时间等是否符合合同约定。

审查施工图纸和合同条款

确认工程量是否与施工图纸和合同条款相符。

审查进度报告和付款申请

审查施工方提交的进度报告和付款申请，核实工程进度与申报的一致性。

现场核实

对施工现场进行实地考察，验证工程进度和申报材料的真实性。

填写审核表格

记录审核结果，填写进度款审核表格。

提出意见建议

如发现任何问题或有疑点，提出相应的意见建议。

签署审核意见

签署审核意见，并将审核结果提交给业主或施工单位。

审核工程款支付证书

在总监批准后，出具工程价款月付款证书及月支付审核汇总表。

遵循审批流程

按照公司内部的审批流程，包括OA流程，完成最终的审核和支付决策。

以上步骤和要点可以帮助专业监理工程师确保进度款的审核过程合理、合规，并保障工程款项支付的准确性。需要注意的是，具体的审核流程和要求可能会根据不同的合同条款和公司的内部规定有所变化。