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一种用于化学机械抛光(以下简称为“CMP”)制程的浆料。
特别是涉及一种用于浅槽隔离(STI,shallow trench isolatein)CMP制程的抛光浆料,该抛光浆料为制造256M(mega)或更高的D-RAM超高集成半导体(设计标准小于或等于0.13μm)所必需,其能够以很高的移除速率对晶圆进行抛光,与氮化物比较而言,该抛光浆料具有优异的氧化物移除选择性。此外,本发明还涉及磨料颗粒,以及该磨料颗粒和抛光浆料的制造方法。
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佳洁士的抛光粒子主要成分是硅酸钙。这种成分能够有效去除牙齿表面的污垢和牙渍,使牙齿恢复光洁。同时,硅酸钙还具有一定的抗菌作用,可以有效预防牙齿蛀牙的发生。
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日前,有微博网友爆料称,经检测,国内的佳洁士牙膏里根本没有氟的成份,尽是各种工业废料。
5月2日一早,佳洁士在官方微博上回应称,佳洁士秉承全球一致质量标准,符合各国法规。我们在华销售牙膏以氟化物为防蛀有效成分,产品出厂前均经严格测试。
5月3日央视经济频道进行了报道。
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评论列表(4条)
我是公众科技网的签约作者“IT小白鸽”!
希望本篇文章《佳洁士的抛光粒子是什么成分》能对你有所帮助!
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本文概览:一种用于化学机械抛光(以下简称为“CMP”)制程的浆料。特别是涉及一种用于浅槽隔离(STI,shallow trench isolatein)CMP制程的抛光浆料,该抛光浆料为制造256M(mega)或更高的D-RAM超高集成半导体(设计标准小于或等于0.13μm)所必需,其能够以很高的移除速率对晶圆进行抛光,与氮化物比较而言,该抛光浆料具有优异的氧化物移除选择性。此外,本发明还涉及磨料颗粒,以及该磨料颗粒和抛光浆料的制造方法。