硅锭开方通常采用的技术包括线切割技术和滚磨技术。下面简要介绍这两种方法:
线切割技术
准备阶段
在晶托上铺设隔离膜,用于隔离晶托和待开方的硅锭。
在隔离膜上喷射发泡胶,发泡胶在发泡过程中填充晶托的缝隙。
将硅锭放置在晶托上,使发泡胶粘接硅锭。
开方过程
将粘有硅锭的晶托置于开方机的切割室内。
保持开方机切割室内的导向装置位置不变。
将多条切割线绕过导向装置,并穿过晶托的多道沟槽,形成下方线网。
线网包括沿两个垂直方向的第一组和第二组切割线。
使线网由下至上运动,对硅锭进行切割。
特殊处理
如果发生断线,可以利用线锯从硅锭底部进行切割,避免更换的切割线无法重新穿过之前切割的缝隙。
滚磨技术
整形与分割
将直拉法生长的硅锭整形为规则的长方体或棱柱体,以符合硅片切割的尺寸要求。
滚磨开方
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本文概览:硅锭开方通常采用的技术包括线切割技术和滚磨技术。下面简要介绍这两种方法: 线切割技术在晶托上铺设隔离膜,用于隔离晶托和待开方的硅锭。在隔离膜上喷射发泡胶,发泡胶在发泡过程中填充晶托的缝隙。将硅锭放置在晶托上,使发泡胶粘接硅锭。将粘有硅锭的晶