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光刻胶的pag和pac是什么,求大佬施舍一个解决方案,感激不尽!
答精选答案

光活性组分(PAC)本发明的组合物含有至少一种光活性组分(PAC),该组分通常是在曝露在光化辐射中时产生酸或碱的化合物。
如果在曝露在光化辐射中时产生酸的话,PAC被称为光致产酸剂(photoacid generator)(PAG)。
如果在曝露在光化辐射中时产生碱的话,PAC被称为光致产碱剂(photobase generator)(PBG)。
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本文概览:光活性组分(PAC)本发明的组合物含有至少一种光活性组分(PAC),该组分通常是在曝露在光化辐射中时产生酸或碱的化合物。如果在曝露在光化辐射中时产生酸的话,PAC被称为光致产酸剂(photoacid generator)(PAG)。如果在曝露在光化辐射中时产生碱的话,PAC被称为光致产碱剂(photobase generator)(PBG)。