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铝铜（AlCu）
合金靶材是通过真空熔化技术生产的，通常用于集成电路生产中作为互连材料。与铝互连相比，高纯度铝铜AlCu（0.5-4％）互连具有更均匀的内部微观结构，可以有效改善互连的电迁移和扩散到晶片的过程。凭借5N的高纯度，均匀的晶粒尺寸，较低的氧含量，终用户可以在PVD工艺过程中获得恒定的腐蚀速率以及高纯度和均匀的薄膜涂层。
答其他回答（1条）
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go生活小百科
2026-10-06 00:13:43
铝铜合金材质的。。。。
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本文概览：铝铜（AlCu）合金靶材是通过真空熔化技术生产的，通常用于集成电路生产中作为互连材料。与铝互连相比，高纯度铝铜AlCu（0.5-4％）互连具有更均匀的内部微观结构，可以有效改善互连的电迁移和扩散到晶片的过程。凭借5N的高纯度，均匀的晶粒尺寸，较低的氧含量，终用户可以在PVD工艺过程中获得恒定的腐蚀速率以及高纯度和均匀的薄膜涂层。