问问题描述
光刻dof是什么意思，有没有人理理我？急需求助！
答精选答案
光刻是利用光化学反应原理把事先制备在掩模板(mask)上的图形转移到衬底上的过程。
聚焦深度(depth-of-focus,dof)是衡量光刻工艺窗口的重要参数，它标志了曝光系统成像的质量和晶圆表面位置关系。
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本文概览：光刻是利用光化学反应原理把事先制备在掩模板(mask)上的图形转移到衬底上的过程。聚焦深度(depth-of-focus,dof)是衡量光刻工艺窗口的重要参数，它标志了曝光系统成像的质量和晶圆表面位置关系。