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euv是什么意思，在线求解答
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简单来说EUV是UV紫外线中波段处于（10nm~100nm）的短波紫外线。而在光刻机工艺中通常定义在10 ~ 15 nm紫外线。
光刻的原理是在已经切割好的晶圆（通常是多晶硅）上覆盖一层具有高度光敏感性光刻胶，再用紫外线如深紫外光(DUV)、极紫外光(EUV)透过掩模照射在晶圆表面，被紫外线照射到的光刻胶会发生反应。
答其他回答（1条）
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zhongguominyonghangkongfe
2026-10-06 00:05:52
euv是指紫外光的意思。
极紫外线光刻机是芯片生产工具，是生产大规模集成电路的核心设备，对芯片工艺有着决定性的影响。小于5纳米的芯片晶圆，只能用EUV光刻机生产。
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评论列表（4条）
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本文概览：简单来说EUV是UV紫外线中波段处于（10nm~100nm）的短波紫外线。而在光刻机工艺中通常定义在10 ~ 15 nm紫外线。光刻的原理是在已经切割好的晶圆（通常是多晶硅）上覆盖一层具有高度光敏感性光刻胶，再用紫外线如深紫外光(DUV)、极紫外光(EUV)透过掩模照射在晶圆表面，被紫外线照射到的光刻胶会发生反应。