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晶圆lot就是指柱状晶圆体。
将圆片沿着划片槽切割出来的电路单元叫die,圆片叫wafer,柱状体叫晶圆lot。ic生产时过程中将一批wafer同时下炉制造,因此lot指生产批次号,一般一个lot为24片wafer,工程批的时候也可为12片/lot。wafer就是整个圆片(晶圆),晶圆lot指的是一组wafer一般是12个。晶圆lot是说其实一炉子不只出一盘wafer,一般几盘放一起做叫一个批次,材料的配比相同工艺流程相同。这同一批次叫一个晶圆lot有些属性是通的。所以晶圆lot就是同一批出来的十二只晶圆盘片。
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本文概览:晶圆lot就是指柱状晶圆体。将圆片沿着划片槽切割出来的电路单元叫die,圆片叫wafer,柱状体叫晶圆lot。ic生产时过程中将一批wafer同时下炉制造,因此lot指生产批次号,一般一个lot为24片wafer,工程批的时候也可为12片/lot。wafer就是整个圆片(晶圆),晶圆lot指的是一组wafer一般是12个。晶圆lot是说其实一炉子不只出一盘wafer,一般几盘放一起做叫一个批次,材料的配比相同工艺流程相同。这同一批次叫一个晶圆lot有些属性是通的。所以晶圆lot就是同一批出来的十二只晶圆盘