半导体设备学涉及的专业主要包括以下几个方面：

电子信息工程

电子信息工程专业培养学生掌握电子技术、通信技术和微电子技术等方面的知识和技能，这些技能在半导体行业中的电路设计、信号处理和通信系统等方面有广泛应用。

物理学/应用物理学

物理学专业注重物理原理和实验方法的深入理解，这对于半导体材料、器件物理等方面的研究与开发非常重要。

材料科学与工程

材料科学与工程专业涉及材料制备、性能测试和材料应用等方面的知识和技能，掌握这些知识有助于理解半导体材料的性质和制备方法。

微电子学/集成电路工程

微电子学或集成电路工程专业培养学生在半导体器件、集成电路设计、工艺制造等方面的知识和技能，学习如何设计、制造和测试半导体芯片。

电子科学与技术

电子科学与技术专业涵盖电子工程、电子物理、微电子学、光电子学等多个方向，是从事半导体行业的重要专业之一。

通信工程

通信工程专业培养学生掌握通信系统的设计、制造和管理技能，这些技能在半导体行业的通信系统设计和制造中有广泛应用。

光电信息科学与工程

光电信息科学与工程专业涉及光学、光电子学、光通信等方面的知识和技能，这些技能在半导体行业的光电器件和光通信系统中非常重要。

大功率半导体科学与工程

该专业主要研究支持高电压、大电流的半导体器件，学习内容涵盖功率半导体器件的原理、工艺、封装设计等。

材料物理专业

材料物理专业学习材料科学基础、材料力学、电工电子学、材料热力学、量子力学、材料测试与分析技术、固体物理以及半导体材料与器件物理，与半导体行业密切相关。

集成电路专业

集成电路专业专注于集成电路的设计、制造和测试，是半导体行业的核心专业之一。