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在光刻工艺中，什么是数值孔径，在线蹲一个救命答案，感谢！
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在光刻工艺中，数值孔径（NA）是透镜与被检物体之间介质的折射率（n）和孔径角（2α）半数的正弦之乘积。用公式表示如下：NA = n * sin α。孔径角又称“镜口角”，是透镜光轴上的物体点与物镜前透镜的有效直径所形成的角度。孔径角越大，进入透镜的光通量就越大，它与透镜的有效直径成正比，与焦点的距离成反比。
答其他回答（1条）
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hebeijiancaizhiyejishuxue
2026-10-06 00:08:53
是光刻激光可刻蚀出来的图形最小距离.小于这个距离,就不能清晰的得到你想要的图像.其与光源波长及综合因子k1(基本是常数)正比,与镜头数值孔径的平方成反比.
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评论列表（4条）
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本文概览：在光刻工艺中，数值孔径（NA）是透镜与被检物体之间介质的折射率（n）和孔径角（2α）半数的正弦之乘积。用公式表示如下：NA = n * sin α。孔径角又称“镜口角”，是透镜光轴上的物体点与物镜前透镜的有效直径所形成的角度。孔径角越大，进入透镜的光通量就越大，它与透镜的有效直径成正比，与焦点的距离成反比。