问问题描述
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答精选答案
CD-SEM是特征尺寸测量用扫描高分辨率的电子显微镜，主要是用来测量光刻胶图形的尺寸。
国内首台8 英寸CD-SEM，是东方晶源生产的8 英寸关键尺寸量测设备，型号是“SEpA-c300”。这款产品，是基于东方晶源 12 英寸CD-SEM的技术积累，面向 90nm 以上技术节点的成熟工艺，也是生产出8英寸晶圆的必备机器之一。
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本文概览：CD-SEM是特征尺寸测量用扫描高分辨率的电子显微镜，主要是用来测量光刻胶图形的尺寸。国内首台8 英寸CD-SEM，是东方晶源生产的8 英寸关键尺寸量测设备，型号是“SEpA-c300”。这款产品，是基于东方晶源 12 英寸CD-SEM的技术积累，面向 90nm 以上技术节点的成熟工艺，也是生产出8英寸晶圆的必备机器之一。