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半导体cim是什么，求高手给解答
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半导体CIM系统是工业软件系统，它是由生产执行系统 MES、装备控制平台 EAP、良率分析控制系统 YMS、FAB 实时调度排产系统 RTS 等数十种软件系统组成。
答其他回答（1条）
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hubeishifanxueyuanwenlixu
2026-10-06 00:04:17
半导体制造端的软件主要有CIM软件,CIM(Computer Integrated Manufacturing)。
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本文概览：半导体CIM系统是工业软件系统，它是由生产执行系统 MES、装备控制平台 EAP、良率分析控制系统 YMS、FAB 实时调度排产系统 RTS 等数十种软件系统组成。