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微纳传感器是什么，求路过的大神指点，急！
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微纳传感器是指敏感元件特征尺寸达到微小或微纳量级传感器，主要采用精密加工、微电子以及微机电系统技术，实现传感器尺寸的缩小。
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微纳传感器是指敏感元件特征尺寸达到微小或微纳量级传感器，主要采用精密加工、微电子以及微机电系统技术，实现传感器尺寸的缩小。
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本文概览：微纳传感器是指敏感元件特征尺寸达到微小或微纳量级传感器，主要采用精密加工、微电子以及微机电系统技术，实现传感器尺寸的缩小。