问问题描述
什么是mems技术，这个怎么解决啊？快急疯了？
答精选答案
MEMS（Micro Electro Mechanical System）是一种微型化的电子机械系统技术，将微纳制造技术、电子技术和机械技术相结合，制造微型化的传感器、执行器和微机电系统等。
该技术具有体积小、重量轻、功耗低、响应快等优点，被广泛应用于汽车、医疗、航空航天等领域。
答其他回答（1条）
-
tianjinzhongyiyaodaxue
2026-10-05 23:32:37
MEMS就是将传统传感器的机械部件微型化后，通过三维堆叠技术，例如三维硅穿孔TSV 等技术把器件固定在硅晶元(wafer)上。
最后根据不同的应用场合采用特殊定制的封装形式，最终切割组装而成的硅基传感器。
本文来自作者[tianjinzhongyiyaodaxue]投稿，不代表公众科技网立场，如若转载，请注明出处：https://www.cpst.net.cn/know/3008047.html
评论列表（4条）
我是公众科技网的签约作者“tianjinzhongyiyaodaxue”！
希望本篇文章《什么是mems技术》能对你有所帮助！
本站[公众科技网]内容主要涵盖：教育咨询,知识百科
本文概览：MEMS（Micro Electro Mechanical System）是一种微型化的电子机械系统技术，将微纳制造技术、电子技术和机械技术相结合，制造微型化的传感器、执行器和微机电系统等。该技术具有体积小、重量轻、功耗低、响应快等优点，被广泛应用于汽车、医疗、航空航天等领域。