电子级乙硅烷是什么，有什么用途啊

基本信息：中文名称电子级乙硅烷中文别名乙硅烷;英文名称disilane英文别名λ1-silanylsilicon;SiH2=SiH2;EINECS216-466-5;DISILANE;Silicondimer;disilicon;CAS号1590-87-0分子式H6Si2分子量62.21860物化性质：外观性状无色气体带有一种恶臭的气味蒸汽压2940mmHgat25°C熔点-132.6oC密度0.686g/cm3沸点-14.3oC电子级乙硅烷的用途：用于太阳能电池、感光转筒、非晶硅膜、外延成长、氧化膜、氮化膜、化学气相沉积等方面。

在太阳能电池生产中，用乙硅烷比用硅烷在非晶硅片上的沉积速度快得多，且温度可降低200～300℃。

在离子注入中，以乙硅烷作离子源后易起辉、束流强，效果明显好于用其他气体作离子源。

在半导体工艺中用于外延和扩散工艺，也用于太阳能电池和电子照相用的感光鼓。本品可用于太阳能电池生产、分子束外延和离子注入等技术。在太阳能电池生产中，用乙硅烷比用硅烷在非晶硅片上的沉积速度快得多，且温度可降低200～300℃。

在离子注入中，以乙硅烷作离子源后易起辉、束流强，效果明显好于用其他气体作离子源。