以下是开设光刻相关专业的部分高校信息，综合多个来源整理如下：

一、综合类高校

清华大学

微电子科学与技术、材料科学与工程等专业在光刻技术、光刻机研发等方面处于国内领先地位，尤其在工件台、光源系统等关键领域有突出贡献。

与四川大学合作开展直接光刻技术研究，突破传统光刻瓶颈。

北京大学

电子科学与技术专业实力强劲，光刻机技术研究历史悠久，与清华大学、华中科技大学等多所高校联合攻关。

中国科学技术大学

在微电子、光学工程领域表现突出，拥有国家光电实验室等顶尖科研平台。

上海交通大学

光电子、微电子领域有较高声誉，涉及光刻系统设计与检测技术。

复旦大学

微电子学与固体电子学专业全国领先，微电子技术研发起步较早。

西安交通大学

光刻技术研究涵盖工艺优化、设备研发等多方面，与东华大学等高校合作紧密。

二、理工类高校

华中科技大学

国家光电实验室核心成员，合成光刻胶等前沿技术研究领先。

哈尔滨工业大学

光刻机工件台技术取得突破，显示较强的工程化能力。

南京大学

在光刻技术基础研究方面有重要贡献。

东华大学

与四川大学合作开展直接光刻技术研究，突破杂化半导体体系瓶颈。

三、其他相关机构

中国科学院 ：长春光学精密机械与物理研究所等下属机构在EUV光源系统研发上取得重大突破。

浙江大学/北京理工大学/天津大学 ：在光学工程、微电子领域也有显著表现。

四、建议

选择高校时需结合个人兴趣、学术方向及职业规划。若侧重基础研究，可优先考虑清华大学、中国科学院；若关注工程化应用，上海交通大学、华中科技大学等综合实力较强的院校更合适。建议通过官网或权威平台进一步查询具体专业设置及招生信息。