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离子体产生的方法之一,微波等离子体无电极、大体积、运行气压宽、低能耗、高效率和低成本等优点,
微波诱导微放电源是基于“微波带”技术在大气压环度境下产生的一种微等离子体,它被广泛应用于气相色谱中原子发射光谱激发源.微波带技术的使用不仅可以将微波精确指向间隙区,同时也减少了不必回要的外空间辐射损失,有利于耦合效率的提高,从而获得高密度等答离子体.
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本文概览:离子体产生的方法之一,微波等离子体无电极、大体积、运行气压宽、低能耗、高效率和低成本等优点,微波诱导微放电源是基于“微波带”技术在大气压环度境下产生的一种微等离子体,它被广泛应用于气相色谱中原子发射光谱激发源.微波带技术的使用不仅可以将微波精确指向间隙区,同时也减少了不必回要的外空间辐射损失,有利于耦合效率的提高,从而获得高密度等答离子体.