微机电系统（MEMS）是微纳技术的一个重要分支，它结合了机械工程、电子工程、物理、化学等多个学科的知识。以下是一些在微机电系统领域具有较高排名的国外大学：

普林斯顿大学 - photonics

哈佛大学 - atomic, molecular, and optical physics, nanophotonics

耶鲁大学 - electronic, photonic & nanoelectronics, optical physics, and devices

哥伦比亚大学 - materials science, electronic, optical, and magnetic materials, atomic, molecular, and optical physics, condensed matter & laser physics

斯坦福大学 - optics, nanophotonics & quantum technology

麻省理工学院 - atomic, optical physics, optoelectronics, electronic, photonic, and magnetic materials, integrated electronic and photonic systems

杜克大学 - photonics, optical sciences

加州理工学院 - bio-electronics, bio-optics, electromagnetics, optics, and optoelectronics

约翰霍普金斯大学 - solid state electronics, photonics, optoelectronic & magnetic materials

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