以下是开设微机电系统工程（MEMS）方向的知名高校及相关信息，综合多个权威来源整理：

一、重点高校推荐

北京航空航天大学

优势方向：微传感器、微陀螺、微测量技术等，属于国家级一流本科专业建设点。

相关院系：工科试验班类（含材料科学与工程、能源与动力工程等方向）。

西北工业大学

优势方向：微机电系统工程是国家级重点学科，涵盖微传感器、微光学器件等核心领域。

学科地位：双一流建设高校，工信部直属重点大学。

东莞理工学院

优势方向：微机电系统工程为省级特色专业，注重工程实践与产业结合。

中山大学

优势方向：微电子科学与工程为国家级一流本科专业，半导体物理与器件领域具有领先优势。

华中科技大学

优势方向：光学与电子信息学院含微电子相关学科，光学工程为双一流建设学科。

二、其他相关院校

清华大学 ：微机电系统工程专业历史悠久，科研实力强。

上海交通大学 ：微系统所等机构在MEMS领域有重要研究。

东南大学 ：微电子科学与工程为国家级一流本科专业。

西安交通大学 ：微机电系统工程与航天工程结合紧密。

三、选择建议

工艺与产业结合 ：优先选择有成熟工艺线或科研机构的院校（如中电13所、西安618所等），利于就业。

学科排名与认证 ：关注“双一流”“国家级一流本科”等认证项目。

区域特色 ：例如北京航空航天大学侧重航空航天领域，西北工业大学聚焦国防军工，可根据职业规划选择。

以上信息综合了学科建设、研究方向及产业资源，供参考。