在光刻机技术方面表现突出的大学包括：

清华大学：

清华大学在光刻机领域取得了一系列重要突破，如高分辨率光刻技术和多重曝光技术，并拥有高水平的科研团队，与国内外知名企业合作，推动光刻机技术研发。

北京大学：

北京大学的电子科学与技术专业在全国高校中排名前五，并入选世界一流学科，在光刻机工件台方面表现出色。

华中科技大学：

华中科技大学拥有光电类最强的实验室，如国家光电实验室，以及多个国家重点实验室和工程实验室，周围有许多光电企业，有利于学生就业和创业。

复旦大学：

复旦大学在微电子学与固体电子学方面是地方一级重点学科，芯片研发能力全国顶尖。

上海交通大学：

上海交通大学在光刻机领域也有一定的研究和开发活动。

浙江大学：

浙江大学流体动力与机电系统国家重点实验室负责光刻机浸液系统的研发。

中国科学技术大学：

虽然文档中未详细提及，但中国科学技术大学在光刻机及相关技术领域也有显著的研究成果。

哈尔滨工业大学：

哈尔滨工业大学在光刻机技术方面也有突出的表现，例如“放电等离子体极紫外光刻光源”项目在黑龙江省高校和科研院所职工科技创新成果转化大赛中获得一等奖。

这些大学在光刻机技术领域有着深厚的研发背景和突出的研究成果，是光刻机技术研发的重要基地。选择哪所大学，可以根据个人的兴趣、学术背景和职业规划来决定。