问问题描述
减薄机工作原理，跪求好心人，别让我孤军奋战！
答精选答案
利用氩气的电离采用高压来进行，在电场是作用下，电离后的氩离子对样品表面进行轰击。
在氩离子的持续轰击下，样品慢慢减薄，一直到使透射电镜观察要求满足，此即为离子减薄仪的工作原理。
氩离子抛光仪和离子减薄仪有着相同的原理，也是通过氩离子对样品表面进行轰击，使得样品表面变得平整光滑，因此该仪器大体上不需要太多的改变。
答其他回答（1条）
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宁宁找乐
2026-09-30 10:08:03
减薄机的工作原理是：
采用了晶圆自旋，磨轮系统以极低速进给方式磨削。具体步骤是把所要加工的晶圆粘接到减薄膜上，然后把减薄膜及上面芯片利用真空吸附到多孔陶瓷承片台上，杯形金刚石砂轮工作面的内外圆舟中线调整到硅片的中心位置，硅片和砂轮绕各自的轴线回转，进行切进磨削。
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评论列表（4条）
我是公众科技网的签约作者“宁宁找乐”！
希望本篇文章《减薄机工作原理》能对你有所帮助！
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本文概览：利用氩气的电离采用高压来进行，在电场是作用下，电离后的氩离子对样品表面进行轰击。在氩离子的持续轰击下，样品慢慢减薄，一直到使透射电镜观察要求满足，此即为离子减薄仪的工作原理。氩离子抛光仪和离子减薄仪有着相同的原理，也是通过氩离子对样品表面进行轰击，使得样品表面变得平整光滑，因此该仪器大体上不需要太多的改变。