问问题描述
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答精选答案
RTP是 快速热处理（rapid thermal processing)，是一种升温速度非常快的，保温时间很短的热处理方式。升温速率能达到10~100摄氏度每秒。一般采用红外卤素灯或者电阻棒加热，加热时电流很大，功率很大。实验室一般采用专门的RTP炉进行实验。是半导体制造中的一道工艺，可以用于离子注入后的杂质快速激活、快速热氧化等。此方法能大量节省热处理时间和降低生产成本，是热处理上的一次革新。
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本文概览：RTP是 快速热处理（rapid thermal processing)，是一种升温速度非常快的，保温时间很短的热处理方式。升温速率能达到10~100摄氏度每秒。一般采用红外卤素灯或者电阻棒加热，加热时电流很大，功率很大。实验室一般采用专门的RTP炉进行实验。是半导体制造中的一道工艺，可以用于离子注入后的杂质快速激活、快速热氧化等。此方法能大量节省热处理时间和降低生产成本，是热处理上的一次革新。