问问题描述
rf框架的作用,这个怎么解决啊?快急疯了?
答精选答案

RF,提供射频电压,在腔体内形成交变电场。在交变电场的作用下特气辉光放电会等离子态。对了,也并非全部等离子态,里面有很多形态,比如亚稳态离子、活性游离基、原子、等离子等等。里面相当于东北乱炖什么都有,呵呵。简单说就是RF提供等离子态能量。
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本文概览:RF,提供射频电压,在腔体内形成交变电场。在交变电场的作用下特气辉光放电会等离子态。对了,也并非全部等离子态,里面有很多形态,比如亚稳态离子、活性游离基、原子、等离子等等。里面相当于东北乱炖什么都有,呵呵。简单说就是RF提供等离子态能量。