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分子泵前级压力要求,求路过的大神指点,急!
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你应该看的是罗茨泵或分子泵,这种泵不能直接从大气压抽真空,必须有一个前几泵,也就是在这两种泵前面再装一个真空度比较低的真空泵,先对真空室进行抽气,达到罗茨泵或分子泵的启动压力后才能启动。
前级压力说的是前级泵的入口压力和主泵(高真空度)的出口压力。前级泵和主泵在实际使用时是串联使用的。
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本文概览:你应该看的是罗茨泵或分子泵,这种泵不能直接从大气压抽真空,必须有一个前几泵,也就是在这两种泵前面再装一个真空度比较低的真空泵,先对真空室进行抽气,达到罗茨泵或分子泵的启动压力后才能启动。前级压力说的是前级泵的入口压力和主泵(高真空度)的出口压力。前级泵和主泵在实际使用时是串联使用的。