问问题描述
LED芯片用什么光刻机，跪求大佬救命，卡在这里动不了了！
答精选答案
用投影光刻机！
具体而言，根据用途不同，可以将光刻机分为三类：
一是主要用于生产芯片的光刻机；
二是用于封装的光刻机；
三是用于LED制造领域的投影光刻机。
目前尺寸在14纳米以下的LED光刻机基本上被荷兰的阿斯麦尔垄断。
14纳米以上的在中国日本南韩欧洲和美国均有生产。
答其他回答（1条）
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吕婧个人资料
2026-09-30 10:32:26
按照用途可以将光刻机分为三种：有用于生产芯片的光刻机；有用于封装的光刻机；还有用于LED制造领域的投影光刻机。
投影式光刻机一般采用步进-扫描式曝光方法。光源并不是一次把整个掩模上的图形投影在晶圆上，曝光系统通过一个狭缝式曝光带（slit）照射在掩模上。
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评论列表（4条）
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希望本篇文章《LED芯片用什么光刻机》能对你有所帮助！
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本文概览：用投影光刻机！具体而言，根据用途不同，可以将光刻机分为三类：一是主要用于生产芯片的光刻机；二是用于封装的光刻机；三是用于LED制造领域的投影光刻机。目前尺寸在14纳米以下的LED光刻机基本上被荷兰的阿斯麦尔垄断。14纳米以上的在中国日本南韩欧洲和美国均有生产。