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蚀刻率定义，求高手给解答
答精选答案
蚀刻率是指在刻蚀过程中去除硅片表面材料的速度，刻蚀窗口的深度称为台阶高度。为了高的产量，希望又高的蚀刻率。在采用单片工艺的设备中，这是一个很重要的参数。刻蚀速率由工艺和设备变量决定，如被刻蚀材料类型、刻蚀机的结构配置、使用的刻蚀气体和工艺参数设置
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本文概览：蚀刻率是指在刻蚀过程中去除硅片表面材料的速度，刻蚀窗口的深度称为台阶高度。为了高的产量，希望又高的蚀刻率。在采用单片工艺的设备中，这是一个很重要的参数。刻蚀速率由工艺和设备变量决定，如被刻蚀材料类型、刻蚀机的结构配置、使用的刻蚀气体和工艺参数设置