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pcb光刻胶和半导体光刻胶的区别,求大佬施舍一个解决方案,感激不尽!
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可能是匀胶后边缘的光刻胶有堆胶现象,如果采用的是接触式曝光,那么掩模板和晶片之间就会有间隙,造成曝光出现虚影,因此要去除掉边缘的光刻胶。
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本文概览:可能是匀胶后边缘的光刻胶有堆胶现象,如果采用的是接触式曝光,那么掩模板和晶片之间就会有间隙,造成曝光出现虚影,因此要去除掉边缘的光刻胶。